氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪是怎样检漏的呢？

市面上有各种检漏仪器，最常见的载气有氮气、氢气、氦气等。氦气检漏大家想必都听说过，那么氦质谱检漏仪是怎样检漏的呢？氦质谱检漏仪检漏是如何操作的呢？ 为此，量化检测总结了常见的氦质谱检漏仪检漏的六种方法。

氦质谱检漏仪检漏方法的六大方法：

1. 喷氦/喷枪法;真空测漏法是业内经常使用的一种检漏方法, 广泛应用于精密仪器, 真空钎焊, 压力容器等行业；

2. 吸枪法/正压法；氦质谱检漏正压吸枪法主要应用于大容积高压密闭容器产品的检漏，如高压氦气瓶、舱门检漏仪等。

3. 真空累积测漏法；

4. 背压法；背压法氦质谱检测优点：检测灵敏度高；可以进行批量化检测；

5. 真空累积法；

6. 常压吸枪累积法：常压吸枪累积法广泛应用于航空航天领域；

任何仪器在制作过程中难免会遇到密封不严的情况，某些不重要的设备中轻微的泄露没有太大关系，但是在半导体器件、集成电路等重要电气设备及高端仪器中，良好的密封才能决定仪器的正常使用，所以检漏十分重要！同样，选择专业的氦气检漏检测公司也是非常关键的！

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